ГОСТ 25662-83

/sw-хз

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИИ

ГОСТ 25662-83 ICT СЭВ 3407—8f|

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по стандартам Москва

УДК 621.521 : 006.3 S 4    Группа Г82

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ

Основные параметры. Тонические требование.

Методы испытаний

_t Vaceum equipment. Dlfiusion vacuum pumps.

Bask parameters Technical requirements.

• Test metboiH

ОК.П 62 914»

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 марта 1983 г. Ms 1047 срок действия установлен

с 01.01.3i до Ot.OI.S»

Несоблюдение стандарта преследуется по икону •

Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насрсы с ьодяным охлаждением, применяемые в вакуумных «системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газон и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3407—81.

Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в справочном приложении.

(Измененная редакция, Изм. Л* I).

1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

1.1. Основные параметры насосов должны соответствовать указанным в таблице.

Издание официальное    Перепечатка    воспрещена

• Переиздание (июнь 1984 «*.) с Изменением .V? I. у/вермОенным в апрем 1984 г. (ИУС М 8 $4).

© Издательство стандартов, 1985

%

. /

ГОСТ 25М2-М Crp. 2

2.1.    Насосы должны изготовляться в соответствии с требованиями ГОСТ 24686— 81 и настоящего стандарта.

2.2.    Присоединительные фланцы на входе и выходе насоса — по СТ СЭВ 298-76. ГОСТ 24934 —81 и ГОСТ £4935-81.

2.3.    Диаметры условных проходов на входе и выходе насосало ГОСТ 18626-73.

2.4.    Допускаемый поток натекания Q_ac,„, Вт, из атмосферы не должен превышать

Фдоп ^ 1 • ИИ РqSji,

где Л>— предельное остаточное давление, Па;

расчетная быстрота действия насоса при давлении Я*

дм^а/с.

2.5.    Температура охлаждающей воды должна быть 283—293 К-

2.6.    Насосы должны иметь следующие показатели надежности:

наработка на отказ — не менее 1000 ч;

средний ресурс — не менее 20000 ч;

среднее время восстановления— не более 2 ч.

3. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

3.1.    Измерение предельного остаточного давления

3.1.1.    Метод измерения предельного остаточного давления основан на измерении давления в специальной камере, откачиваемой

Стр. 3 ГОСТ 25662-8}

испытуемым насосом, через равные промежутки времени при постоянной температуре.    /    .

3.1.2. Испытательная установка представлена на черт. 1.

/— измерительная камере 3. 5— иэхгрптедлчые и!НК)6раа'>мт<ли "дам«иня: }—диффутомна насос: 4—кхяпйп У,; f-тми Уй. 7— мсхциичкиий tucoc

Черт. 1

/—капраэленке потока гая; J— напускная тр)<5к«;    3    место    подсоедяиеви* ва куумметра

Черт. 2

Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланиа насоса, диаметр камеры должен быть равен условному проходу на входе насоса.

Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры' в сторону, противоположную входному фланцу камеры, на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

ГОСТ 25462—S3 Стр. 4

Измерительные преобразователи должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

3.1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной, погрешностью не более:

±10%— при измерении давлений свыше    1    На:

±20%    »    »    » н диапазоне 1—10-* 11а.

.    3.1.5. Измерители потоков газа должны обеспечивать измере

ние с относительной погрешностью:

= 3% —для потоков более I Вт;    .

±5%    »    »    от I до 10^ Вт;

±10%    »    •    »    менее 10-* Вт.

3.1.6.    При измерении следует применять сухой воздух или другой сухой газ.

Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в вакууме, доджны быть очищены, высушены и обезжирены.

Для сокращения времени достижения предельного остаточного давления допускается прогревать камеру до максимально допускаемой температуры.

3.1.7.    Измерение\следует проводить при следующих климатических условиях:

температура окружающей среды (288—298) К±1 К; относительная влажность не более 80% при температуре 298 К; атмосферное давление 8,5-10⁴—I • 10® Па.

3.1.8.    .Предельное остаточное давление следует измерять в последовательности. приведенной ниже:

включить насос (черт. 1) и вывести его на рабочий режим согласно инструкции по эксплуатации;

откачать, из измерительной камеры газ при закрытом клапане У_л до установления в ней предельного остаточного давления.

Предельное остаточное давление считают установленным, если в течение 1 ч давление на входе в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора (пп. 3.1.3 и 3.1.4).

3.1.9.    Оформление результатов измерений.

Результаты измерений оформляют протоколом, в котором указывают:

типы используемых измерительных приборов; мощность нагревателя насоса;    .    ,

входную и выходную температуры охлаждающей воды; скорость потока охлаждающей воды; температуру' окружающей среды;

марку и объем рабочей жидкости, применяемой в насосе; тип уплотнителя на входе насоса; тнп и быстроту действия форвакуумного насоса; выпускное давление диффузионного насоса.

Стр. 5 ГОСТ 25662—S3

3.2. Измерение быстроты действия насоса

3.2.1.    Метод измерения быстроты действия насоса основан на установлении некоторого постоянного давления на входе в насос при создании определенного потока газа через, клапан в измерительную камеру, измерении значения этого потока и давления на входе в насос и вычислении по ним быстроты действия.

3.2.2.    Аппаратура для проведения измерения быстроты действия — по пп. 3.1.2 и 3.1.3.

3.2.3.    Быстроту действия насоса следует измерять при постоянном давлении на входе в насос, создающемся при определенном потоке газа, в последовательности, приведенной ниже:

включить насос (черт. 1) и откачать из измерительной камеры газ до предельного остаточного давления (п. 3.1). Допускается откачивать из измерительной камеры газ до давления, равного 0.1 Рв (где Р_в — давление на входе в насос, при котором требуется измерить быстроту действия испытуемого насоса);

не прекращая откачки, установить в измерительной камере с помощью клапана Vj давление Р_й. Давление считают установленным, если результаты трех последовательных измерений, проведенных с интервалом не менее 60 с. не отличаются более чем на 10%. Значение давления определяют как среднее арифметическое;

одновременно с измерением давления Я„ необходимо измерять поток газа Q. поступающий в измерительную камеру через натекатель;

вычислить быстроту действия насоса S, дм³/с, при заданном Давлении по формуле

S«—g— * 10*.

где Q — поток газа, Вт;

Р₀— измеряемое давление,'Па.

Быстроту действия насоса следует измерять при различных значениях давления, проводя не менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2,5; 5; 10). Измерение следует начинать с самого низкого давления.

3.2.4.    Обработка результатов измерений

Зависимость быстроты действия насоса от давления на входе насоса следует изобразить графически: на логарифмическую ось абсцисс нанести значения давлений, а на линейную ось ординат — соответствующие значения быстроты действия.

3.2.5.    Оформление результатов измерений — no п. 3.1.9.

3.3. Измерение наибольшего выпускного давления

3.3.1. Метод основан на измерении выпускного давления, 10%-ное превышение которого вызывает не менее 10-кратного увеличения впускного давления в измерительной камере.

ГОСТ 15662-83 Стр. 6

3.3.2.    Аппаратура для измерения наибольшего выпускного давления - но пп. 3.1.2 и 3.1.3.

3.3.3.    Подготовка к измерению — по п 3.1.6.

3.3.4 Намерение наибольшего выпускного давления без нагрузки следует проводить в последовательности, приведенной ниже:

откачать из измерительной камеры газ при закрытых клапанах V, и V₂ до предельного остаточного давления (п. 3.1). Для сокращения времени измерения допускается откачивать газ из измерительной камеры до давления не более 10 Ро (где Л>— предельное остаточное давлений);

плавно открывая клапан V_t. увеличивать выпускное давление до значения, при котором резко повышается впускное давление не менее чем в 10 раз. Это значение считают наибольшим выпускным давлением насоса без нагрузки.

Первоначальное давление на выходе насоса должно быть менее 10% измеряемого наибольшего выпускного давления.

3.3.5.    Измерение наибольшего выпускного давления с .нагрузкой следует проводить в последовательности, приведенной ниже:

откачать газ из измерительной камеры при закрытых клапанах V, и Vj до предельного остаточного давления (н. 3.1). Для сокращения времени измерения допускается откачивать газ из измерительной камеры до давления не более 10 Р₀;

открыть клапан V, и при достижении заданного давления измерить поступающий газовый поток;

плавно открывая клапан V*. определить наибольшее выпускное давление, относящееся к установившемуся газовому потоку (п. 3.3.4).    '

Данную операцию проделать несколько раз для различных значений поступающих потоков до получения максимального потока, необходимого д/fa нормальной работы насоса.

' Клапан Vt перекрывают между последующими операциями.

Максимальный поток при нормальной стабильной работе насоса зависит от быстроты действия форвакуум кого насоса. Для проведения измерений следует подбирать форвакуумный насос с быстротой действия, обеспечивающей нормальную стабильную работу диффузионного насоса.    /

3.3.6.    Обработка результатов измерений.

Наибольшее выпускное давление следует определять при работе насоса без нагрузки и с максимальной нагрузкой. «

При отсутствии резкого повышении впускного давления зависимость значения- выпускною давления от впускного необходимо изобразить графически.

3.3.7.’Оформление    результатов измерений — по п. 3.1.9.

Ctp. 7 ГОСТ 2SM2—>3

ПРИЛОЖЕНИЕ

Справочное

ПОЯСНЕНИЯ ТЕРМИНОВ. ПРИМЕНЯЕМЫХ В НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ

Предельное' остаточное давление вакуумного насос* — наименьшее полное давление, которое может быть достигнуто "насосом при нормальной работе бса

рота деЯсгаия вакуумного насоса — обгем газа при данном давлении, проходящий через входное сечение насоса за единицу времени

Диапазон рабочих давлений вакуумного насоса — диапазон давлений «о входном ссчсннн насоса, при котором насос сохраняет нормальную быстроту действия.

Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса — наибольшее давление в выходном ссчении вакуумного насоса, при котором насос может работа гь нормальна

г . •

Редактор В. С. Бабкина Технический редактор Э. В. Митяй Корректор Г. И. Чуйко

С«а«о в паб tt.tttA Подп, » п<м. 06.04.85 0.5 в. л. 0,6 уел. кр.-отт. 0.11 yv-нзд, л.

Тираж 8X0 Цен» 3 ко».

Ордена «Знак Почета» . Ммательепо стандартов. 123640. Москал. ГСП.

ИоаопресаемскаА аер.. s. 3.    j

Вильнюсе*»» типогр*ф*я Издательства стацдарто», ул Миидауго, 1ЙМ. Зак. 454

Группа Г82

Изменение 2 ГОСТ 25662 — 83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Основные параметры. Технические требования. Met оды испытаний

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственною комитета СССР по стандартам от 03.11.83 Л 3637

Дата введения 01.01.89

Наименование стандарта. Исключить слова: «Основные параметры. Технические требования»; «Basic parameters. Technical requirements»,

Вводная часть Второй, третий абзацы изложить о новой редакции: «Степень соответствия настоящего стандарта ОТ СЭВ 3407—81 приведена в приложении

Термины, применяемые а настоящем стандарте, и их пояснения — по ГОСТ 519Т-ГОСТ 26790 -85».

Р1ЭД5ЛЫ 1, 2 исключить.

(Продолжение см. с. 144) ИЗ

(Продолжение изменения к ГОСТ 25662—S3)

Пункты 3.2.2, 3.3.2 иможить в новой редакции; «3.22. Аппаратура — по вв. 3.1.2; 3.1.3; 3.1.4: 3.1.5.

3.3.2. Аппаратура — по пп. 3.1.2: 3.1.3: 3.1.4; 3.1.5».

Приложение изложить в новой редакции:

ПРИЛОЖЕНИЕ

Рекомендуемое

144