ГОСТ 5197-85

ГОСУДАРС Т А НДАРТ С

ТВЕННЫЙ С О Ю 3 А ССР

---

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ

ГОСТ 5197-85 (СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84, СТ СЭВ 4840-84)

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москва . ...«

удк 00u:$3j.j:006.j$4 Группа TOO государственный стандарт союза сср ГОСТ вакуумная техника 5197-85 Термины и определения Vacuum technology. |СТ СЭВ 4751—84, Terms and definitions СТ СЭВ 4839—84, СТ СЭВ 4840—84) Взамен ОКСТУ 636!» гост 5197—70 Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 37 ноабря 198$ г. Nï 374Ï срок ааедеиив установлен с 01.07.84 Настоящий стандарт устанавливает термины к определения понятий в области вакуумной техники. Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности. Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840- 84. Стандарт соответствует СТ СЭВ -1751—84. СТ СЭВ 4839-84 в части, указанной в справочном приложении 2. Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов—синонимов стандартизованного термина не допускается. Приведенные определения можно при необходимости изменять. вводя н них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятии, определенных в данном стандарте. В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определенно не приведено и в графе «Определение» поставлен прочерк. В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (Г)), английском (Е). французском (Р) языках. Издание официальное Перепочатка воспрещена @ Издательство стандартов, 1986

Стр. 2 ГОСТ »97-eS В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике. В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов. Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом Термно Олр*я<м«ик# 1. Вакуум D. Vakuum E. Vacuum F. Vide 2. Вакуумная техника D. Vakuumtechnik E. Vacuum technology F. Technique du vide 3. Степень вакуума D. Vakuumhereichc L\ Ranßcs of vacuum F. Domaine*. de vide 4. Вакуумное масло D. Vakuumpumpenöl E. Vacuum pum? oil F. Huile de pompe à vide primaire ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ Ссстояино среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного Техника получения, поддержания вакуума и проведении вакуумных измерений Характеристика вакуума в интервалах давлений, определявших соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда. характерным для рассматриваемого процесса Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 к Па до 100 Па — для низкого вакуума; от 100 Па до 0,1 Па — для среднего вакуума; от 0.1 Па до 10 мкПа — для высокого вакуума; ниже 10 мкПа — для сверхвысокого вакуума Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения п вакуумных насосах ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ 5. Вакуумная система D. Vakuumsyslem E. Vacuum system F. Systeme à vide Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышении и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов

ТОСТ ли-»s Стр. з Тер«ии Определение 6. Вакуумная установка D. Vakuuiuanlagc fr: Vacuum plant F, I.TNt.-illaliou de vide 7 Вакуумный aiper jt I) Vakuuiiieinheit E Vacuum unit F Unite à vide 8 Отачиой носг D Pumpsland С Pumping station F Stand de pompage 9 Откачиваемый вакуумный со суд Г) Vakuumkamcr h. Pumped container F. Enceinte pompée 10 Элемент вакуумной системы D Vakuumsystemselement F. Element öl vacuum system F. Element du système à vide 11. Вакуумный насос. D Vakuumpumpe К Vacuum pump F. Pompe à vide 12 Вакуумная ловушка D Falle E. Trap F. Piôge M Вакуумный клапан D Vakuunuentil E. Vacuum valve F. Soupape de vide И Вакуумный затвор D. Vakuumschknsenventil Е Vacuum gaie salve F Vanne-cclusc IS Напускной вакуумный клапан D Bcluftungsvakuum-ventil E. Admittance vacuum valve F. Robinet d'entrée d'air установка, cwtosuijh из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие 1)аку>мная установка, конструктивно выполненная как единое целое Вакуумная установка, предназначенная для 1пхлчки. наполнения и трс-ниронки изделий Сосуд, в котором создается вакуум Устройство, предиа жачеиное дли создании. поиышення и поддержании вакуума Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения п рои и к ношении паров II гаки» и» одной части вакуумной системы я другую или для снижения их парциального давления Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему Вакуумный клапан. позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему 2 Зак 3687

Стр. 4 ГОСТ 5197—«5 Термин Определенно 16 Вакуумный натекатель I). Nadelvakuumvcntil F.. Л:г admittance vacuum valve F. Robinel л aiguille 17. Вакуумный ввод О. V

ГОСТ Л»;—85 Стр. 5 Термин Определение 24 Вькоковак)умный насос D. Endvakuumpuinpc E. High vacuum pump F. Poinp« a vide won-dalre 25. Форвакуумиый насос D. vorvakuuinpumpe E. Backing vacuum pump F Poiupe prim a ire pour Ic vide 26 Вустерный вакуумный насос D. Boostcrvakuuiupumpe E. Booster vacuum pump F. Pompc a wde intenne-diairc 27. Вакуумный насос предварительного разрежения D. Vorvakuumpiiiiipc E. Roughing vacuum pump F. Pompe préliminaire pour le vide Вакуумный насос, работающий иа ступени самого низкого давления системы, состоящей hi двух или более последовательно соединенных насосов Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки Вакуумный нлсос, устанавливаемый между форвлкуумиии и пнеокопакуучным насосами с целью приведения в соответствие выпускного данле.иих высоковакуумного насоса с впускным давлением фор-вакуумного насоса Вакуумный насос, предназначенный для понижения дааления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов 1 АЗОП К РЕК ЛЧИ В А Ю1ЦИ F. ВА КУУМН Ы F. НАСОСЫ 28. I азоперекачнпающий вакуумный насос D. Gastrar.siervaluiumpumpe E. Pump for gas transpor-ting F. Pompe â vide du transport gazeus 29. Механический вакуумный иасос 0 Rolationsvakuumpumpe В. Vacuum mechanical pump F. Pompc inccan.que ii vide 30 Вакуумный насос объемного действия D Verdrangerv Диитршире E. Positive displacement vacuum pump F. Pompc a vide volumftri-que Вакуумный иасос. н котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул гата струей рабочего вещества, либо за счет воздействия элехтрнческого и магнитного полей или одного электрического поля Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие котооого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса Механический вакуумный иасос. в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа п перемещается к выходу 2*

Стр. 6 ГОСТ 5197—«5 Торчим Определена« 31. Поршневой вакуумный насос D. llubkolbenvakuumpumpc К. Piston vacuum pump F. Pompe a vide à piston alternatil 32 Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением I). Ulgedichtctc rluv^gKcitv gedicMclc) Vakuumpumpe E 0:î-âeaied (liquid-sealed) vacuum pump F. l'OitIре vide à bain d'huile (à bain de liquide) 33. Газобалластиый вакуумный насос Г> Gasballastvakuumpumpe E. Gas ballant vacuum pump F Pompe à vide à injection de gaz 34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем I) 'Iroekenlaufende Vakuuin-pumpe E Dry-sealed vacuum pump F. Pompe à vide sèche 35. Вращательный вакуумный насос D. Rotatinsverdrângervakuom-puinpe E. Rotary vacuum pump F. Pompe à vide tournant 36 Пластинчато-роторный вакуумный насос 1) Diehschiebeivakuumpumpc E. Sliding vane rotary vacuum pump F. Pompe a vide à palettes Вакуумный насос объемною дийстии, в котором сжатие и выброс газа происходя! и результате возпратио-iioci у па тельного движения поршня Вакуумный насос объемного действия, в котором дли заполнения взоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия исполь-зувл накуумное масло или жидкость Вакуумный насос с маслянь-м уплотнением, снабженный ус1ройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращении конденсации откачиваемых наров в насосе Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс га.>а осуществляются в результате вращения ротора Вращательный вакуумный насос, я котором аксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие п прорезях роюра и прижимающиеся к внутренней оенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом

гост нет—es Op. 7 Тер* II и Оарг деление 37. Пластиичато-ста торный вакуумный насос Г) f)rehko!benvakuumpuinpc E. Rotary piston vacuum pump F. Pompe a vide a piston louritanl 38 Плунжерный вакуумный на- с<к D. Sperrschiel*rvakuumJ>utnpe E. Rotary plunger vacuum pump F. Pompe a \ ide a piston osciilant 39. Ж идкостно кольисвой вакуумный насос D. Flflsslgkeltsringvakuum-pumpe F.. Liquid ring vacuum pump F. Pompe à vide à anr.eau liquide 40 Двухроторный вакуумный насос D Wâlzkolbenvakuumpumpe E Roots vacuum pump F. Dèpresseur roots 41. Трохомдный вакуумный насос D Krelskolbenvakuunipuinpe E Trochoid pump F Pompe trochoidc 42 Кинетический вакуумный насос D. Kinctischc Vakuumpumpc E. Kinetic vacuum pump F. Pompe » vide ciiR-tique 43. Вакуумный турбонасос D. Turbovakuumpumpe E. Turbine vacuum pump F IVpresseur к turbine Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается. скользя по внутренней стенке, статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру ив час-ш с изменяющимся объемом Вращательный на ь у умный насос, и котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенка статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемам и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ро» юр с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, н вместе с лопатками ротора образует по-лости с изменяющимся объемом Вращательный вакуумный насос, рабочая камера н котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися п противоположных направлениях Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего а поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насос« имеет в поперечном сечении форму трохоиды Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения перелается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса Кинетический вакуумный насос, в кото-ром нмпульс движения газу передается ог вращающихся твердых поверхностей

Стр. 8 ГОСТ 5197—«5 Теркин Определена« 44. Осевой вакуумный турбонасос D. Axialische Turbovakuum-pumpe Е. Axial flow turbine vacuum pump F. Depresseur a turbine a Них axial

ГОСТ 51*7—85 Ctp. 9 Тернии Опргяелгиве 51. Диффузионный вакуумный и ас о

Стр. ю ГОСТ J197-M Термин ОорсжслсЕие ЗД Адсорбционный вакуумный насос D Adsorptionspumpe E. Adsorption vacuum pump F. Pompe й vide à physi-sorption 59 Геттериый вакуумный насос D. Gel ter Vakuumpumpe U Getter vacuum pump F. Pompe à vide à sorbeur 60 Испарительный геттерный вакуумный насос D Sublimations getter Vakuumpumpe F.. Sublimation vacuum pump F. Pompe à vide à sublimation à sorbeur 61 Геттерио-иониый вакуумный насос D. lonengètterv akuuinpuinpc E. Getter ion vacuum pump F. Pocnpe à vide ionique à 4>rbeur 62. Иснарительно-ноииым вакуумный насос D loncnverdampScrvakuum-numpe E. Sublimation ion vacuum uutnp F. Pompe à vide ionique à sublima lion 63 Магнитный алектроразряд-ный вакуумный насос D. lonenierstäuberpumpe С. Sputter ion pump F Pompe ionique à pulvérisation 64, Конденсационный ный насос D. Kondensationspumpc E. Condeiiserpuinp F. Pompe condenser 65. Вакуумный криоиасос D. Kryoval.uumpumpe E Cryopump F. Pompe cryostatlque вакуум- Сорбинонный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбиии газа пористым сорбентом при низкой температуре Сорбинонный вакуумный насос, н котором откачка происходит преимущественно вследствие хемоеорбини газа геттером Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера Гегтерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбиией. возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения Гегтерно-иоиныЙ вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд и магнитном поле Газоулавливающий вакуумный насос, в котором m качку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур

ГОСТ J197-8J Стр. и ТерЯВл Определение 66. Комбинированный вакуумный насос D. Vakuumpumpkombination F.. Combined vacuum pump F Pompe à vide combinée Комбинации гегтериого вакуумного насоса. магнитного злектроразрядиого паку-умного насоса и вакуумного крионвсоса а различных сочетаниях, размещенных и одном корпусе ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК 6" Компенсационная ная ловушка I) Kûhlfalle Е. Cold ira К Piège гс «а ку ум- Froid i (»в Сорбииоиная вакуумная ловушка D. Sorpt:onsfalJe E. Sorption trap F Piège à sorption 69. Ионная вакуумная ловушка О. lonifierungsfaBv Г., loi! trap F. Piège ionique Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на виутрении* охлаждаемых поверхностях Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого Сорбента Вакуумная лопушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов н.ч газовой смеси используется их ионизация ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ 70 Быстрота откачки D. Saug vermögen E. Pumping rale F. Debit volumétrique 71 Быстрота действия вакуумного насоса I) Pfördcrleichliing E. Volume flow raie of vacuum pump F. Dibit-volume d'une oompe à vide 72 Наибольшее давление запуска вакуумного насоса D Startdruck E. Starting pressure F. Pression d'amorçage 73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса D Maximal zulässiger Vor- vaitu umdruck E. Maximum backing pressure F Pression maximale de refoulement Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени и определенном сочен ни при данном давлении, измеренном в том же сечении Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать Наибольшее давление и выходном се-чей и м вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку

Стр. 12 ГОСТ 5197—«5 Термин Оирглелелке 74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса D. Maximaler Arbeitsdruck E. Maximum working procure F. Pression maximaie de fonctiounement 75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса D. Enddruck einer Vakuumpumpe E Ultimate pressure of vacuum pump F. Press.on limite d'une pompe â vide 76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам волы D. Maximal zulässiger Mas-sendurchfluS für Wasserdampf E. Maximum rate of handling water vapour F. Capacité de pompage de vapeur d'eau admissible 77. Наибольшее допустимое давление паров воды D. Wasserdampvertriiglich-keit E. Maximum tolerable water vapour inlet pressure F. Pression maximale tolé-rable d'aspiration de vapeur d'eau 78. Степень сжатия вакуумного насоса D. Kompressionsverhältnis E. Compression ratio F. Taux de compression Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия Давление, к которому асимптотически стремится давление п стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе Наибольшее количество паров волы в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластиым вакуумным насосом при длительной работе о нормальных климатических условиях Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия 79. Вак Вакуумметр D. Vakuummeter E. Vacuummcter F. Manomètre à vide ВАКУУММЕТРЫ Но ГОСТ 8.271-77

ГОСТ J197-8J Ctp. 13 Термин Определение 80. Абсолютный вакуумметр D Absolutes Vakuummctcr П. Absolute vacuum gauge F Manomètre absolu $1 Дифференциальный ваку- умметр D. Differenzdruekvakuum-meter E. Differential vacuum gauge F Manomètre differcnliel 82. Измерительный преобразователь давлении D. Druckme-ssunfornier F.. Gauge pressure transducer F. Transducteur de mesure pression 83. Измерительный блок вакуумметра D. Betriebs und AnzeigerSt e:nes VckuumeUKerates F. Gauge control unit F. CoHret d'alimentation et de mesure 84. Отсчетное устройство вакуумметра l> Anr.eigeger.it elnes Vakuuiimieflgerales F. Gauge Indicating unit F. Dispositif indicateur 85 Вакуумметр полного давления D. Tota'druckvakuummeter П. Total pressure vacuum gauge F. Manomètre de pression totale 86. Жидкостный вакуумметр D. FiûsNigkeitsvakuuinmeter E. Liquid level manometer F Manomètre à liquide 87 (.'-образный вакуумметр D. U-leitung Vakuummctcr E U-tube vacuum gauge F Avec iinelube en U-ma-no mètre Вакууммеф, чувствительность которого одинакова дли в-:е* газов с может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам Вакуумметр дли измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного злемсита По ГОСТ 8 271-77 Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации и форме, доступной для иепо. сре дет венного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические иепи. необходимые для работы вакуумметра Часть измерительного блока вакуумметра. предназначенная для отечнтываикч значений измеряемой величины Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси Ввкуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

Стр. 14 ГОСТ J197—85 Тсрмаи Определение ОД Компрессионный вакуумметр D. Kompressiousvakuum-meler E. Compression gauge F. Manometre a compression 89 Деформационный вакуумметр D. FederelaM.srhes Vaku- ummeter E Elastic element gauge F. Manumrtre j deformation Ж) Мембранный вакуумметр I) Membranvakuummeter E Diaphragm gauge F Manomelre i membrane 9! Грузопоршмепый вакуумметр D. Druckwaage E. Pressure balance F Manom£tre a piston 92. Вязкостный вакуумметр D Reibungsvakuummeter E Viscosity gauge F. Manomètre à viscosité 93 Тепловой вакуумметр D. Wârmeleitungsvakuum-meter E. Thermal conductivity gauge F. Manomètre à conduction thermique 94 Термопарный вакуумметр D. Thermokreuz E. Thermocouple gauge F. Manomètre À thermocouple 95 Вакуумметр сопротивления D. Thermistor-V ak uuintneter E. Thermistor gauge F. Manomètre à thermislance Жидкосшый вакуумметр, в котором для измерения давления ралреженного газа последний подвергается предварительному сжатию Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительною Цемента или развиваемой им силы от измеряемого давления Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемиым устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения Вакуумметр полного давления, дейст-ние которого основано на ивнснмости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, or измеряемого давления Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость аде термопары от измеряемого давления Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа

ГОСТ 5197—«S Стр. IS Тсрчин Определение 96, Термомолекуляриый вакуумметр D Molekularvakuumnieter Г.. Thermo-iiKilecular gauge F. Manomètre thermomotecu-la ire 97 Ионизационный вакуумметр D lonisaïlonsvakuummeter F Ionisation vacuum gauge F. Manomètre à ionisation 98. Рааиоизотопиый ионизационный вакуумметр D lonisationsvakuumineter mit radioaktiver Strahlungsquelle * fc'. Radioactive ionization gauge F. Manomètre в source radioactive 99 Магнитный электроразряд-иый вакуумметр D. lonenzerstàubervakuum- meter F. Sputter ion gauge F. Manomètre ionique à pul verisalion 11)0 Вакуумметр Иенминга D. Pcnnir.gvakuummcter К. Penning gauge F. Manomètre de Penning )0! Электронный ионизационный вакуумметр D. Eiektronenionfsalions Vakuummctcr F.. Electronic type ionization vacuum F Manomètre a ionisation à faisceau électronique 102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором D. Elektronenionisations Vakuummeier mit Axialkollektor L Twin-wire oscillator gauge F Manomètre à électrons oscillants Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа, от давления Ионизационный вакуумметр, в котором дли ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления Машитиый электроразрядиый вакуумметр. преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами Ионизационный вакуумметр, в преобра зователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем Электронный ионизационный вакуумметр. в котором фоновое давление уменьшено за счет использования а качестве коллектора ионов тонкой проволоки, по мощенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

Стр. 16 ГОСТ $197—«S Тсрчип Определен»: II». Экстракторный вакуум- метр D. lonisationsvakuummetcr mit Extraktor -System E. Extractor gauge F. Manomètre à extracteur 104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode E. Cold cathode magnetron gauge F. Manomètre magnètron à cathode froide 105. Индикатор с разрядной трубкой D. Hoehirequenzvakinimprûfer E. Discharge tube indicator F. Tube témoin 106. Вакуумметр парциального давления D. Partialdruckvakuummeter E. Partial pressure vacuum gauge F. Analyseur de pressions partielles 107, Масс-спектрометр D. Masscnspektrometer E. Mass spectrometer F. Spectroniètre de niasse Электронный ионизационный вакуумметр. в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой Проволоки, находящейся на оси анода н выведенной из облает ионизации Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого предстааляе! собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное ноле используется для удлинения траектории электронов к увеличения числа образованных ионов Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один нз газоз, входящих в газовую смесь, если из нее удалять остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры. Примечание. Обычно »то масс-спектрометры. не имеющие собственно» откачкой системы По ГОСТ 15624-75 ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ 108. Диапазон измерений D. Meflberek-h E. Pressure range F. Etendue de mesurage По ГОСТ 16263-70. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит ог природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота.

ГОСТ JW—«$ Стр. 17 1«рм4н Определение J09. Чувствительность D. Empfindlichkeit E. Sensitivity F. Sensibilité 110. Относительная чувстви- тельность вакуумметра D. Relative Vakuumrneter-empfindllcnkeit E. Relative sensitivity factor F. Facteur de sensibilité relative 111 Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра D. Vakuummeterkonstantc elnes Ionisationsvakuuni-meters E. Ionization gauge coefficient F. Coefficient d'un manomètre à ionisation 112. Эквивалентное азотное давление D. Stickstoff equivalent-druck ?.. Equivalent nitrogen pressure F. Pression équivalente d'azote 113 Фоновое давление вакуумметра D. UntcrgTunddruck E. Background pressure F. Pression résiduelle По ГОСТ 16263-70. Примечание, Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления

Стр. 8 ГОСТ $197—«S алфавитный указатель терминов на русском языке Агрегат вакуумный 7 Баллон вакуумный уравнительный 22 Блок вакуумметра измерительный 83 Быстрого действия вакуумного насоса 71 Быстрота откачки 70 Вакуум ] Вакуумметр 79 Вакуумметр абсолютный 80 Вакуумметр вязкостный 92 Вакуумметр грузопоршиевой 91 Вакуумметр деформационный 80 Вакуумметр дифференциальный 81 Вакуумметр жидкостный 86 Вакуумметр ионизационный 97 Вакуумметр ионизационный радиоизотолиый 98 Вакуумметр ионизационный электронный 101 Вакуумметр ионизационный электронный с матнитным полем 104 Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором Ю2 Вакуумметр компрессионный 88 Вакуумметр магнитный «лектроразрядяый 99 Вакуумметр мембранный $0 Вакуумметр парциального давления 106 Вакуумметр Пеиииига 100 Вакуумметр полного давлении 86 Вакуумметр сопротивления 95 Вакуумметр тепловой 93 Вакуумметр термомолекулярный 96 Вакуумметр термопарный 94 Вакуумметр С-образный 87 Вакуумметр экстракгорный 103 Ввод вакуумный 17 Давление вакуумметра фоновое 113 Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее 73 Давление вакуумного насоса предельное остаточное 75 Давление запуска вакуумного насоса наибольшее 72 Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее 74 Давление паров воды наибольшее допустимое 77 Давление эквивалентное азотное 112 Диапазон измерений 108 Затвор вакуумный 14 Индикатор с разрядной трубкой 105 Клапан вакуумный 13 Клапан вакуумный напускной 15 Криоиасос вакуумный 55 Ловушка вакуумная 12 Ловушка вакуумная ионная 69 Ловушка вакуумная конденсационная 67 Ловушка вакуумная сорбииониая 68 Масло вакуумное 4 Масс-спектрометр 107 Наем пакуумный 11 Насос вакуумный адсорбционный 58 Насос вакуумный бустерный 26 Насос вакуумный вращательный 35

ГОСТ 51*7—SS Ср. 19 Насос вакуумный газобаллагтный 33 Насос вакуумный i азонерекачивающий 28 Насос вакуумный газоструйный Насос вакуумный газоулавливающий *g Насос вакуумный гетгсриыи Г,9 Насос вакуумный геттериый испарительный ft) Нас о» вакуумный геттерио-ионный fij Насос вакуумный лиухроюриый 40 Насос вакуумный диффузионный Г,| Насос вакуумный лиффузионно-зжскториый г,2 Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся Г>3 Насос вакуумный диффузионный фракционный .',4 Насос вакуумный жиакостио-ипдьцевой 39 Насос вакуумный жидкостно-струйный 47 Насос вакуумным конный Г>5 Насос вакуумный испаритгльи«-ионный 62 Насос вакуумный кинетический 42 Насос вакуумный комбинированный fig Насос вакуумный конденсационный 64 Насос вакуумный магнитный глектроразрядиый 63 Насос вакуумный механический 29 Насос вакуумный объемного действия 30 Насос вакуумный пароструйный 49 Насос вакуумный пластинчато роторный 36 llacoc вакуумный нластинчаю-статорный 37 Насос вакуумный плунжерный 38 Насос вакуумный поршневой 31 Нагое вакуумный предварительного разрежении 27 Насос вакуумный с масленым (жидкостным) уплотнением 32 Наем вакуумный с сухим уплотнением 34 Насос вакуумный сорбиионный Г>7 Насос вакуумный струйный 46 Насос вакуумный трохоидиый 41 Насос вакуумный зжеиторный Г>0 Насос высоковакуумиый 24 Нагое имзковакуумный 23 Насос форвакуумный 25 Нате кат ель вакуумный 16 Преобразователь Давления измерительный s2 Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая Пост откачнон 8 Система вакуумная Сосун откачиваемый вакуумный Степень вакуума Степень сжатия вакуумного насоса Техника вакуумная - Трубопровод байпасный 20 !рубоировод вакуумный Трубопровод форвакуумный Турбонасос вакуумный 43 Турбонасос вакуумный осевой 44 Турбонасос вакуумный центробежный 45 Устаиовка вакуумная б Устройство вакуумметра отсчет иое 84 Устройство защитное вакуумное 21 Чувствительность ) 09

Op. 20 ГОСТ $197—95 Чувствительность вакуумметра относительная 110 Чувствительность ионизаиноииою вакуумметра приведенная III Элемент вакуумной системы 10 АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ Absolutes Vakumninctcr 80 Adsorptionspumpc 58 Anzeigegerät eines Vakuummeßgerätcs 84 Axialische Turbovakuumpumpe 44 BeluJ'tungsvakuumventil 15 Betriebs und Anzeigegerät eines VaVuuinmeûgerltes 83 Boostervakunmpumpe 26 DampfstraMvakuumpuinpe 49 Differenzdruck vakuummeter 81 Diffufionsjckkerpumpe 52 Diffusionsvakuumpumpe 51 DrehV.ollienvakuiiinpumpc 37 Drehschiebervakuumpumpe 36 Druck ausgleichskollicn ^ Drockmessun Former Druckwaagc 9J ElektTonenionisalions Vakuummeler ||H Ekk'.ror.cnioni-ations Vakuummeter mit Axialkollektor J0"-Emplindlichkeit Enddruck einer Vakuumpumpe Endvakuumpumpe f* Falle 12 Federclastisclies Vakuummeter 89 Flüssigkcitsringx'akuumpumpe 39 Flüssigkeitsstrahlvakuuinpumpe 47 Flüssigkeitsvakuuinmeter 86 Fraktionierende Oldillusionspumpe 54 Gasballastvakuumpuir.pe 33 Gasbiudende Vakuumpumpe 56 Oasstrahlvakuumpumpe 48 Gkstransfervakuumpumpe 28 GeUercakuumpumpc 59 Grobvakuuinpumpc 23 Hochfrequenz vakuumprüier 105 Hubko!hcn\akuu:npunipe 31 lonengettcrvakuumpumpe fil loncntrarafcrpumpc 55 loneiivertlampfervakuumpumpc C2 loncTueritiiuberpumpe 63 loneuzersliiul>ervakuumme'.cr 90 lonisalionsvakuuininctcr 97 lonisationsvakuummeter mil Extraklor System 103 Toni*atinn*vakuiiinmclcr mit radioaktiver Slral.lungsquelle 98 lonisierungsfatle 69 Kinetische Vakuumpumpe 42 Kompressionsvakuuiniiieler Konipressionsverhaltnis 78 Kondensat ioiispumpe 61 Krmfcoibenvakuumpumpe 41

Kryovakuumpumpe Kahlfalle Magneironvakuummctcr mil kaller Kalliode Masscnspexlronicter Maximal zulässiger Masscndurchfluß für Wasserdampf Maximal -zulässiger Vorvakuumdruck Maximaler Arbeitsdruck Mcmbranvakmimmetcr .MeBberekii Molektikirvakuumioeter N'adelvakuumventll «"ilged

Стр. 22 ГОСТ $197—«S Vakuumventil 13 Verdrangcrvakuuinpunipc 30 Vorpum;>enrohrlcllung 19 VoTvaktiumpuinp« 25. 27 WiWzkolbcnvakuumpuinpt- 40 \V;innc!eiiung»\ al> uummelei 93 Wusscrdampfverliiiglichkeit 77 алфавитный указатель терминов на английском языке Absolute vacuum gauge 80 Admittance vacuum valve 15 Adsorption \acuimi pump 5R Air admittance vacuum valve lb Axial How turbine vacuum pump '14 Background pressure Backing line l'J Backing vacuum pump 25 Booster vacuum pump '26 Bypass line 2» Cold cathode magnetron gauge ICM Cold trap 67 Combined vacuum pump *>*• Compression gauge Compression i alio Couaenscrpuinp 61 Cryopump 65 Diaphragm gauge Differential vacuum gauge 81 Difiusion-ejector pump 52 Diilu-io-.i pump 51 Discharge lube indicator 105 Dry-sealed vacuum pump 34 Ejector vacuum pump SO Elastic element gauge Electronic type ionization vacuum 101 Element of vacuum system 10 Entrapment vacuum pump Equal vessel 22 Equivalent nitrogen pressure 112 Extractor gauge 103 Fractionating diffusion pump 54 Gas ballast vacuum pump 33 Gas jet vacuum pump 4 Я Gauge control unit 83 Guuge indicating uuit Gauge pressure transducer 52 Getter ion vacuum pump 61 Getter vacuum pump 50 High vacuum pump 24 Ion transfer vacuum pump 55 Ion trap 60 Ionization gauge coefficient 111 Ionization vacuum gauge 07 Jet kinetic vacuum pump 46

rOCT 5197—IJ Crp. 23 Kineiic vacuum pump 42 Liquid id vacuum pump 47 Liquid level manometer 86 Liquid ring vacuum pump 39 Moss spectrometer 107 Maximum backing pressure 73 Maximum rate of handling water vapour 76 Maximum tolerable water vapour inlet pressure 77 Maximum working pressure 74 Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump 32 Pailiat pressure vacuum gauge 106 Penning gauge 100 Pinion vacuum pump 31 Positive displacement vacuum puinp 30 Pressure balance 91 Pressure range 108 Pumped container 9 Pumping rate 70 Pumping station 8 Pump for gas transporting 28 Radial flow turbine vacuum pump 45 Radioactive ionization gauge 98 Ranges of vacuum 3 Relative sensitivity factor 110 Roots vacuum pump 40 Rotary piston vacuum puinp 37 Rotary plunger vacuum pump 3S Rotary vacuum pump 35 Rough vacuum pump 23 Roughing vacuum pump 27 S*lf purilying diffusion pump 53 Sensitivity 109 Sliding vane rotary vacuum pump 36 Sorption trap 68 Soiption vacuum pump 57 Spulter ion gauge 99 Sputter ion pump 63 Starting pressure 72 Stihl-nialton Ion vacuum pump 62 SuMimotion vacuum pump 60 Thermal conductivity gauge 93 Thermislor gauge 95 Tliermocouplc gauge 94 Thermo-molerular gauge 96 Total pressure vacuum gauge 85 Trap 12 Trochoid pump 41 Tuibine vacuum pump 43 Twin-wire oscillator gauge 102 Ultimate pressure of vacuum pump 75 IMube vacuum gauge 87 Vacuum I Vacuum feedthrough 17 Vacuum gate vahv 14 Vacuum mechanical pump 29 Vacuum pipework 18

Стр. 24 ГОСТ $197—«S Vacuum plant G Vacuum protective device 21 Vacuum pump 11 Vacuum pump oil 4 Vacuum system 5 Vacuum technology 2 Vacuum unit 7 Vacuum valve 13 Vacuummetcr

Manomètre à viscosité Manomètre ehsolu Manomètre de Penning Manomètre de prèssion totale Manomètre différentiel Manomètre ton.que à pulverisation Manomètre magnetron à cathode froide Manomètre thermomoleculaire Pa>sage du vide Piège Piège a sorption Piège ionique Prège refroidi Pompe à diffusion Pompe à diffusion autorcctifiante Pompe à diffusion et àejecteur Pompe !i diffusion fractionnante Pompe à ionisation à vide Pompe à vide Pompe à vide à anneau liquide Pompe h vide à bain d'huile (à bain de liquide) Pompe à vide à électeur Pompe à vide à fixation Pompe à vide ù physisorption Pompe à vide à injection de gaz Pompe à vide à jet cinétique Pompe à vide à palettes Pompe à vide à piston alternatif Pompe à vide à piston oscillant Pompe à vide à piston tournant Pompe à vide à sorbeur Pompe à vide à sorption Pompe â vide â sublimation a sorbeur Pompe â vide cinétique Pompe à vide combinée Pompe à vide du transport gazeus Pompe à vide intermédiaire Pompe h vide ionique à sorbeur Pompe à vide ionique à sublimation Poinpe à vide primaire Pompe à vide séchc Poinpe à vide secondaire Pompe â vide tournant Pompe à vide volumetrique Pompe condcnsor Pompe cryostatiguc Pompe ionique à pulvérisation Pompe mécanique à vide Pompe préliminaire pour .'e vide Pompe primaire pour le vide Pompe trochoide Pression d'amorçage Pression équivalent d'azote Pression maximale de fonctionnement Pression maximale de refoulement Pression limite d'une pompe à vide rocr H97—9S Ctp. 25 92 80 100 85 81 99 10« % 17 12 68 69 67 51 53 52 54 55 II 39. 47 32 50 56 58 33 46 36 31 38 37 59 57 60 42 66 28 26 61 62 23 34 24 35 30 04 65 63 29 27 25 41 72 112 74 73 75

C»p. 26 rOCT J197—8$ Pression maximale tolerable d'aspiration de \apeur d'eau 77 P/ession résiduelle 113 Robinet à aiguille 16 Robinet d'entrée d'air 15 Sensibilité 109 Soupape de vide 13 Spectrométre de masse 107 Stand de pompage 6 Système a vide 5 Taux de compression 78 Technique du vide 2 Transducteur de mesure pression 82 Tube témoin 105 Unité à vide 7 Vanne-écluse M Vide 1

ГОСТ 5197-15 Стр. 27 ПРИЛОЖЕНИЕ / CnfWtfOHHOP ТЕРМИНЫ« ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ Тгрнян определение I. Газ Состояние вешества. при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что ае-шест во может занимать любое доступное npi>cii>ancTiio Примечания: 1 Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов. 2. В вакуумной технике атот термин применяют х неконденсирующемуся газу и к пару О Неконденсирующийся газ Газ. который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переклей в конденсированную фазу только путем увеличения ого давления 3 Идеальный газ Пи ГОСТ 23*81—78 4 Парциальное давление газа Давление, оказываемое химически индивидуальным гаJuM. содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое ока зывал бы >тот газ. если удалить из занимаемого газовой емгеью объема остальные газы, при условии сохранении первоначальных объема и температуры 5. Г lai »кх- да писнне газа Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси, Примечание Термин применяют, если термин «Давление» четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой 6. Давление газа на ограничивающую поверхность Нормальна* составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площади «:ой поверхности Примечание. 1 При наличии потока молекул гача указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока

Стр. 28 ГОСТ 2197-85 Термин Оередмеиие 7. Давление в определенной точке газового пространства • 8. Количество газа 9 Пар 10. Насыщенный пэр 11. Давление насыщенного пара 12 Ненасыщенный пар 13. Степень насыщения пара 14 Молекулярная концентрация 15. Молекулярная концентрации заданного компонента 16. Плотность газа 17. Плотность газа, приведенная к единице давления 2. Термин «Давление» без дополнительных определений означает сташческос давление в газе при его установившемся течении Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная па величину этой площадки. Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока Произведешь: объема, занимаемого газом. находящимся в равновесном состоянии, ка его давление Гзз, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения Пар. находящийся при данной темпера-туре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз Пар, давление которого меньше да ».тения насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре Отношение давления пара к давлению насыщенного пара Число молекул газа в единице обз-ема Число молекул заданного компонента в единице объема Масса единицы объема газа Плотность газа, деленная на его давление

ГОСТ 5197-15 Стр. 29 Термин Определяя* 18. Длина свободного пути молекул 19. Средняя длина свободного пути молекулы 20 Число столкновении натеку л в единицу времени 21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени 22 Диффузии газа 23. Коэффициент диффузии га- ■ча 24 Течение газа 23. Ламинарное течение 26 Турбулентное течение 27 Вязкостное течение 28 Пуазейлевское течение 29. Молекулярное течение Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул Среднее арифметическое число столкновении, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации. Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсировании» фаза По ГОСТ 23281-78 Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах По ГОСТ 23281 78 По ГОСТ 23281-78 Течение газа в трубопроводе в условиях. когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так «по поток зависит от плогиостн газа. Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода

Стр. 30 ГОСТ $197—85 Термин Определенно 30. Молекулярко-вязкостное течение 31 Эффузнойное течение 32. Температурная транспира пня 33. Поток молекул 34 Результирующий поток молекул 35. Плотность потока молекул 36 .Массовый поток газа 37. Объемный поток газа 38. Молярный поток газа 39. Распределение Максвелла по скоростям 40. Вероятность прохождения Течение газа в трубопроводе при условиях. промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением Течение газа черсч отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул Течение газа между соединенными сосудами вследствие рашостн температур со судов, результатом которой является об разояаине градиента давлений Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул. пересекающих ее в обратном направлении Результирующий поток молекул, деленный иа площадь поверхности, которую он пересекает Массе газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвел ла-Больимаиа. Примечание. Распределение Макс-велла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям моле кул газа, находящегося в состоянии равновесия при ладанной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении

ГОСТ $197—I) Ctp. 31 Т«рмна Оарелсдгнме 41. Проводимость элемента вакуумной системы 42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы 43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной систе- мы 44. Сопротивление элемента вакуумной системы 45 Сорбция 46. Адсорбция 47. Абсорбция 4Я Фм шческая сорбция 49. Хемоеорбция •SO Коэффициент аккомодации Свойство, характеризуемо? отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений я двух укачанных сечениях канала или по обеим стропам отверстия Проводимость п частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии макск-лловского распределении молекул по скоростям ъ обоих сосудах. Примечание В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы Захват rata или пара твердым телом или жидкостью Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости Сорбция, при которой rai диффундирует в объем твердого тела или жидкости Сорбция под действием физических сил. при которой не образуются химические святи Сорбция, при которой происходит образование химических связей Величина. определяемая отношение* средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молеху-ламн. если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия

Стр. 32 ГОСТ 51»7—85 Тсэиии Определение 51. Частота столкновений 52. Скорость конденсации 53. Скорость прилипания 54 Вероятность прилипания 55. Время удержания 56 Миграция 57. Десорбция 58. Скорость десорбции 59 Скорость испарения 60 Просачивание 61. Проницаемость твердой ■ерегородки 62. Коэффициент проницаемости газа 63, Условный проход Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени Число молекул, сорбирующихся иа единице площади поверхности в единицу времени Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений Среднее время, и течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции Движение молекул на поверхности Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом Количество газа, десорбируюшееся с единицы площади поверхности в единицу времени Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности и единицу времени Процесс прохождения газа через твердый барьер. Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и струхтурм перегородки Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам

ГОСТ 5197-15 Стр. 34 Термня Оорсдвмям 64. Манометр 65. Откачка 66. Гаэоаыделение 67. Обезгаживаннс 68 Обратная диффузия 69. Обратная миграция 70. Рабочее вещество 71. Радиочастотный масс-спектрометр 72. Кидрупсльный масс-спектрометр 73. Моиополярный масс-спектрометр 74. Масс спектрометр с магнитным отклонением 75. Циклоидальный масс-спекг-ромстр По ГОСТ 8.271-77 Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглошвюшпх газ Самопроизвольное выделение газа из материала з вакуум Принудительное удаление газа нз материала Диффузия газа и направлении, противоположном направлению откачки Поверхностная миграции масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении. противоположном направлению откачки Вешсство или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах Масс-спектрометр, н котором разделение ионоз происходит в радиочастотном продольном алекгричесхом поле Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов Масс-спектрометр, в котором ускоренные ноны, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям Масс-спектрометр, в хотором ионы разделяются скрещенными электрическим ■ магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего иоиы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду

Стр. 34 ГОСТ Л»7—85 Тернии Определение 76 Омсгатрониый масс-спекг-pOMftp Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям и радиочастотном электрическом н постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу 77. Времяпролетный мвсс-спек-трометр Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяют по времени прибытия на коллектор о зави симости от отношения массы иона к заряду ПРИЛОЖЕНИИ Справочное ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ ГОСТ 5197-45 СТ СЭВ 4839-М И СТ СЭВ 4751—84 Т«рммм ял ГОСТ Я97-« Терния во СТ СЭВ «*V)-8«. по СТ СЭВ 4751 -84 Вакуумная ловушка Ловушка Вакуумное защитное устройство Устройство задержки газового потока Бустсрный вакуумный насос Бустерный насос Вакуумный насос предварительного разрежения Насос прсдварител1лого разрежения Трохоидный вакуумный насос Трохоидальиый вакуумный насос Струйный вакуумный насос Струйный кинетический вакуумный насос Газоструйиый вакуумный насос Газозжекторный вакуумный насос

ГОСТ 5197-85 Стр. 35 Терния сю ГОСТ 6197-65 Териаи по СТ СЭВ 48» в», па СТ СЭВ 1751-8« Пароструйный вакуумный на сое Вакуумный крконасос Испарительный гегтерный вакуумный насос Рабочее вешсство Конденсационная ловушка вакуумная Сорбционная вакуумная ловушка Иоинаи вакуумная ловушка Быстрота откачки Молекулярная концентрация за."энного компонента Число столкновений в единице объема за единицу времени Полное давление газа Парциальное давление газа Массовый поток газа Объемный поток газе Молярный поток газа Проницаемость твердой перегородки Физическая сорбция Средняя длина свободного пути молекул Проводимость элемента вакуумной системы Внутренним проводимость элемента вакуумной системы Сопротивление элемента вакуумной системы Пароэжекторный вакуумный насос Криогенный вакуумный насос Сублимационный вакуумный насос Откачивающий элемент Конденсационная охлаждаемая ловушка Сорбснонная ловушка Ионная ловушка Быстрота откачки вакуумного насоса Концентрация молекул заданного компонента Объемное число столкновений в единицу времени Полное давление Парциальное давление Массовый расход газа Объемный расход газа Молярный расход газа Проницаемость Фкзисорбиия Средняя длина свободного пробега молекул Проводимость Внутренняя проводимость Сопротивление

Ctp. 36 ГОСТ J197-IJ Терян« оо ГОСТ 31УГ-85 Теричя во СТ СЭВ 4839 Я. си. СТ СЭВ 1751-М Проницаемость твердой пере- Проницаемость городки Коэффициент проницаемости Коэффициент проницаемости газа Наибольшее давление запуска Наибольшее давление запуска вакуум- вакуумного насоса ного насоса (начальное дапление) Предельное остаточное давле- Предельное давление вакуумного насо- ние вакуумного насоса са Наибольшая производитель- Производительность вакуумного насоса ность вакуумного насоса по па- по водяному пару рам воли Наибольшее допустимое давле- Максимально допустимое впускное дав- ние паров воды ление водяного пара Редактор О. К Абашкооа Технический редактор Л|. И Максимова Корректор Т. И Конопенко Слано в и»Л. 13 IMS ПОДИ Р п*ч. 07 СИ Кб ?.25 усх. А л. 3.375 уел кр. отг. 2.91 у«. ЮЛ. л. Тир. 10 WO lien j IJ коп. Орд««« «Зил» 1т»ч«г»» Издательство стявдяртов. 1238(0. Москва. гсп. 11он1'П|1еен«и<ян1 п«р. , 3. колужглй« тммелрьфня стандартов. ул. мискс-кнау. 358. злк. 3w?

Цена 15 к#л. гамш flteitiwi» Hmximiim ОСНОВНЫЕ ЕДИНИ ЦЫ СИ я Длина метр m м Масса килограмм kK кг В ре* я секунда s с Сила .электрическое тона анпер А А Термодинамическая темпера- • l» тура кельвнн К К Количество вещества ноль mol моль Сила света кандела cd кд ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ • А- А Плоский УХОД ' • радиан rad рад Телесный угол стерадиан яг ср ПРОИЗВОДНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ ИМЕЮЩИЕ СПЕЦИАЛЬНЫЕ НАИМЕНОВАНИЯ UtMu •«•»ММ» ■ 1» «««•ЧАМГ г «•» М*41)М а**»»" < В »MK« »»«•и Частота герц Hz Гц С- Сила ньютон N И щ КГ С~* Давление паскаль P« Па М-' КГ Энергия джоуль J Дж м* кг с** Мощность ватт W Вт м' ИГ С"1 Количество электричества кулои c. . Кл с А Электрическое напряжение вольт V В м' кг с ' А"' Электрическая емкость фарад F Ф кг** с* А1 Электрическое сопротивление ом fi Ом к7 кг с"° А"в Электрическая проводимость сименс S См м-3 кг-' С* А' Поток магнитной индукции вебер Wb м м' кг с*"' А-' Магнитная индукция тесла T Тд кг с-' А- Индуктивность генри H Гм м' кг С3 А"3 Световой поток * люмен Im дм кд ср Освещенность люкс Ix дх яГ* кд ср Актив ноет f. радионуклида беккерель Bq Бк С"' Поглохцеимая лоза грой C.y Гр * С"® монтирующего излучения 4 Эк в я валентная доза излучения зняерт Sv Зв