Лента новостей RSSRSS КалькуляторыКалькуляторы Вопросы экспертуВопросы эксперту Перейти в видео разделВидео

ГОСТ 9847-79

Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры

Заменяет ГОСТ 9847-61 Сведения из перечня "Указатель государственных стандартов СССР 1980 г.", Издательство стандартов 1980

Предлагаем прочесть документ: Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры. Если у Вас есть информация, что документ «ГОСТ 9847-79» не является актуальным, просим написать об этом в редакцию сайта.

Скрыть дополнительную информацию

Дата введения: 01.01.1981
29.08.1979 Утвержден Госстандарт СССР
Статус документа на 2016: Актуальный

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ГОСТ 9847-79

Издание официальное

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ

УДК 531.716:006.354    Группа    П41

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Типы и основные параметры

ГОСТ 9847—79


Optical instruments 1<>г surface roughness parameters measuring. Basra parameters and Ijpes

OKI! 44 3lei0

Дата введения 01.01.81

Настоящий стандарт распространяется иа оптические приборы (далее —приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров Rmax, Rz н S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оитнческих приборов при низ\альных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчегного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и Ь). я также требования пп. 2.1, 2 21—2.2.3, 2.4.1— 2.4.3. 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, др\гие требования — рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. 2).

I. гипы

Типы приборов устанавливаются следующие:

FITC • прибор теневого сечения:

ПОС—прибор светового сечения;

МИН — микроскоп интерференционный измерительный, действие кото|м>го основано на двулучепой интерференции снега;

МП И — мнкроокоп-лрофнлометр интерференционный. действие которого основано на интерференции света с образованном волос ранного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. Л? I).

Издание официальное    Перепечлтка    воспрешем

<С; Издательство стандартов, 1970 (С‘ Издателтлтяо стандартов, К*93 Переиздание с измененц>;ми

ГОСТ &М7-7» С. 2

2. ОСНОВНЫМ ПАРАМЕТРЫ

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.

Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, ныходящим за пределы, указанные в табл. 1.

(Измененная редакция, Изм. № I).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1—2.2.3.

Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.

(Г а 6 л и и а 2

Диямакя» пауачетроп /It н мки

Л идейное иоле ij.cn ия мч. не три**

Увеличение г^ьектлпа с лшкцми'лн.нчй ляишА. крат, пенсе

Атергур*

объек-иаа

Общее

'уш-лнчемпе

uiriCponveit. храт. не более

От 40 ао 320

8

1

0.03

32

0Д5

32

От 10 до 40

2.5

4

(0.1

80

0.12

60

1

1

0.16

«0

Продолжение таб.1, 2

С. 3 ГОСТ »М7-79

Днлплюи нзмерммп параметров Кг И К,,.». ***

Линейное папе зрения, не м*««е

Уяелмчевие объектна* с £|>«п.тил1ел»яи<1 литой, краг, м чепе*

'Апертур*

■объектива

Обшсе увеличение м икршкеол, кр»т. ие белее

От 4 до 10

0.8

10

0.2

200

0.3

,160

От 1.6 ло 4

0,8

12.6

0,4

260

0,46

200

От 0.5 до 1.6

025

за

0.5

750

(16

6С0

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.22. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МНИ должны соответствовать указанным н табл. 5 и пп. 2.4.1—2.4.3.

Таблкиа б

Днапакч иэиереигл параметров Кг и ЯЖ1),. иди

ЛннеИное поле зрений, мw, ие «еие*

Апертур*

объектива

Обще» > кел имение микроскопа, крат, ие (Ямее

От 0.1 ДО 0.8

0.25

0.3

400

0.5;

0.6с

670

От 0.05 ло 0.4

0.25

0,85:

0.96

1120

От 0,05 ао 0,1

о.ов

0.9Б:

1.26

230*

ГОСТ 9847-79 С. 4

2.4.1.    Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерении но должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0.1 до 0.8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения or 0,05 до 0,1 мкм.

2.4.2.    Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через

1    ч после включения прибора.

2.4.3.    Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения —

2    нм.

2.5. Основные параметры приборов типа АШИ должны соответствовать указанным в табл. 6.

Таблица 6

Наименование параметра

Пределы намерения параметр™ Кг н Knt„. «*«м

or 0.1 до аа

or О.СбаоО.5

Апертура объектива. »е менее

0.5

Линейное пате зрения, мм. не менее

0,Й

Общее увеличение прибора, не менее

300

600

Обратили линейная дисперсия диспергирующей системы для ?.|>, им'мм, не более

60

30

Предел разрешения диспергирующей системы для Л ым, ие более

0.35

02

Число нктерференпиоипых полос равного хромат», чссноги порядка и рабочей части (имя зрения

5

3

Смешение интерференционных полос равного хроматического порядка п поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более

)

2.6.    Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3. 5. 6.

2.7.    Характеристики относительной погрешности для приборов типов I1TC, ПСС, определяемые по параметру Rmax на поверхности образцовых мер. не должны превышать значений, указанных в табл. 7.

С. 5 ГОСТ М47-79

Таблица 7

Д из плои и»ме?еиян параметра Р. »»»

щ

г

я

5

«с

«1

5

« а

■л я

П?*ДеД допуск**

МОЙ СИСТеМ***-

ческо» состав** юа»Я погрешности. V ДЛЯ tiuio«

Продел хояу«четою сред«его ■яадр*тнч*ского отклонений случайной составляйте» погрешио

СТИ. %. ДЛЯ ТНП1И1

Предел Допускаемо* суиилрн и агреш пости средмего трех iiMtepeu»». S*. дли типов

ПТС, ПС.О

П ГС. ПСС

ПТС. псс

Се.

1G0

до 320

8

е.о •

0.5

2.5

Сп.

80

ДО

160

8

2.5

1.0

3.5

Св.

40

ДО

80

8

3.0

1.7

5.0

Св

30

ДО

40

2.5

3.2

1.7

Св

ео

до

30

2.5

3.6

2 fi

6.5

Св

10

ДО

20

2.5

4.0

3.5

8.5

Св.

6.3

до

10

0.8

6J)

I4S

10.0

Св

3,2

до

63

0.8

7.0

6.5

J4.0

Св.

1.6

до

3.2

0,8

9.0

8.0

20.0

Св

0.63 до

1.6

0,35

1-2.0

10.0

Й4.0

Св.

0,5

до

0.63

0.35

16.0

И2.0

30.0

(Измененная редакция, Изм. Лк 1).

2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и АШИ, определяемые по параметру R тех» НО ДОЛЖНЫ превышать значений, указанных в табл. 8.

'Таблица 8

Тип

Прибор!

Дмападек

и«м*р«аия

параметра*

мкм

Т

г

К

И

Я

я

2, а я

Апертур*

объектива

Предел допусл*емой систематической погрешности. \

Предел допуск иемого

ермхаго

Х8ЯД|ИТНЧ*С-хото отклоне-аил случайной

|Югрешно сти. \

Предел

допускаемой

суммарной

погрешности трех HBIMffa-ИМЯ. %

00

5

24

мин

Св. 0.4 до 0.8

0.25

От 0.5 до 0,®

14

5

18

От 0.85 до 0.95

10

5

15

МПИ

0.5

14

5

18

МИИ

От 0,5 до 0.65

30

10

40

Св 0,1 до 0.4

0.25

От 0.85 до 1.35

«20

,10

30

МПИ

0.5

18

>10

30

МИИ

Св 0.05

0.08

От 0.95 до 1 26

30

20

50

МПИ

до 0.1

0.5

.10

20

35

ГОСТ 9547-79 С. в

ПРИЛОЖЕНИЕ I (Исключено. Иш. X, I).

приложение -г

Справочное

ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ 1. (Исключен, Из*». .4 I).

2 Увеличение объектива с дополнительной линзой а л и приборов типов ПТС

и ПСС — jивхкчммг оптической системы, iijkxkтирующей яюбрюксипе и предметную плоскость окуляра.

С. 7 ГОСТ 9847-79

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1.    РАЗРАБОТЧИКИ:

A. Н. Кузнецов. А. А. Кучин

2.    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного -комитета СССР по стандартам от 29.08.79 № 3201

3.    Срок проверки — 1995 г.. периодичность — 5 лет

4.    ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

OOrtl tdWP.If If л. и fcO.VI.lMll    I

Мае «азхо,    11*4*1»    iuiu-s

iTOCT 5789—73    Вводная чисть

5.    Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 Л» 531

6.    ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями М 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3—87, 7-91)

Рслактор Л. Д Курочкина Технический редакюр В II. Прусаком Корректор В. М Смирнова

Сд«Ю » lilitp, 1101.95. П<1Щ 11 »еч. И0С1М. Уел псч. х О/. Vc.l hi »ti и”. Уч.-гм. л 0.15. Тир. I0M »м ■

Орд«и< «Знак Почил» И».1втсл<л'тпо гтапшрточ. IrtMTil. Ишчпн. Клч»и»-.«и i -> II Тип. «4oi4.r.M»ni и**41ни»> Чоскиа. Л*.»И1| игр.,    V»

Сохраните страницу в соцсетях:
Другие документы раздела "Прочие"
РАЗДЕЛЫ САЙТА

НОРМАТИВНЫЕ
ДОКУМЕНТЫ

ПРИСОЕДИНЯЙТЕСЬ